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位移的测量方式所涉及的范围是相当广泛的。小位移通常用应变式、电感式、差动变压器式、涡流式、霍尔传感器来检测,大的位移常用感应同步器、光栅、容栅、磁栅等传感技术来测量。其中光栅传感器因具有易实现数字化、精度高(目前分辨率可达到纳米级)、抗干扰能力强、没有人为读数误差、安装方便、使用---等优点,在机床加工、检测仪表等行业中得到日益广泛的应用。
变面积型电容传感器
被测量变化导致动极板移动,引起两极板间有效覆盖面积s的变化,从而得到电容量的变化。当动极板相对于定极板沿着长度方向平移δx时,其电容变化量化为
式中,c0=ε0εrba/d,为初始电容;a为极板长度;b为极板宽度;δx为极板水平位移。可见δc与δx间成线---。
当动极板有一个角位移θ时,与定极板间有效覆盖面积发生变化,测距仪,从而改变了两极板间的电容量。当θ=0时有
式中,εr为介质相对介电常数;d0为两极板间的距离;s0为两极板间初始覆盖面积。
当θ=0时
传感器电容量c与角位移θ间成线---。
左侧隔离膜片比右侧隔离膜片更清晰。在这张照片中清晰可见的一个特征是左侧隔离膜片与内部金属框架之间的间隙较小,而传感膜片所在的宽敞腔室则较小。
回想一下,这些内部空间通常由填充流体占据,其目的是将压力从隔离膜传递到传感膜片。如前所述,实心金属框架---了每个隔离膜片的行程,使得高压隔离膜片在传感膜片被推过其弹性---之前在金属框架上“底部”。通过这种方式,可以保护传感膜片免受过压损坏,因为隔离膜片---不允许再移动得更远。
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