电容式位移传感器的特点优势
高阻抗、小功率,因而所需的输入力很小,输入能量也很低。电容式传感器因带电极板间静电引力小(约几个10-5n),因此所需输入能量小,所以---适宜用来解决输入能量低的测量问题,例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等,可以做得很灵敏,分辨力非常髙,能感受0.001μm甚至更小的位移。
温度稳定性好。传感器的电容值一般与电极材料无关,有利于选择温度系数低的材料,电容传感器价格, 又因本身---小,对稳定性影响甚微。
结构简单,适应性强,待测体是导体或半导体均可,可在---环境中工作。电容式传感器结构简单,易于制造,可做得非常小巧,以实现某些特殊的测量;能工作在高低温、强辐射及强磁场等---的环境中,也能对带有磁性的工件进行测量。
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